NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50450-3
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID)

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H₂, O₂, N₂, Ar and He by using a flame ionization detector (FID)

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit  

Ausgabe 1991-03
Originalsprache Deutsch
Preis ab 34,60 €
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