DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50989-4
Ellipsometrie - Teil 4: Modell Semi-transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch
Ellipsometry - Part 4: Semi-transparent single layer model; Text in German and English
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet. Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer semi-transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ε<(index)1> und Imaginärteil ε<(index)2>) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Semi-transparente Einfachschicht fest.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
