NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50989-3
Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch

Titel (englisch)

Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model; Text in German and English

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen bzw. dielektrischen Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k=0 gilt, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme " des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme 

Ausgabe 2021-03
Originalsprache Deutsch, Englisch
Preis ab 156,30 €
Inhaltsverzeichnis

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