DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50989-3
Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch
Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model; Text in German and English
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen bzw. dielektrischen Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k=0 gilt, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme " des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
