NA 041

DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS)

Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN EN ISO 14644-9
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit (ISO/FDIS 14664-9:2021); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 14664-9:2021

Titel (englisch)

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration (ISO/FDIS 14664-9:2021); German and English version prEN ISO 14664-9:2021

Einführungsbeitrag

Dieser Entwurf beschreibt die Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit auf festen Oberflächen für Anwendungen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Empfehlungen zu Prüf- und Messverfahren sowie Angaben zu Oberflächenkenngrößen sind in den informativen Anhängen enthalten. Dieses Dokument gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie zum Beispiel Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte. Die Klassifizierung der Partikelreinheit der Oberfläche (SCP, englisch: surface cleanliness by particle concentration) ist auf Partikel mit einer Größe zwischen 0,05 µm und 500 µm begrenzt. Folgende Aspekte sollen in der geplanten Norm nicht betrachtet werden: - Anforderungen an die Reinheit und Eignung von Oberflächen für bestimmte Prozesse; - Verfahrensweisen für die Reinigung von Oberflächen; - Materialkenngrößen; - weitere Kenngrößen von Partikeln, wie zum Beispiel elektrostatische Ladung, Ionenladungen, biologischer Zustand und weitere. Dieses Dokument deckt das Klassifizierungssystem der partikulären Kontamination von Oberflächen ab, nimmt jedoch keinen Bezug auf die wechselseitigen Bindungskräfte oder Entstehungsprozesse, die üblicherweise zeitabhängig (wie zum Beispiel Ablagerung, Sedimentation, Alterung) und prozessabhängig (wie zum Beispiel Transport oder Handhabung) sind. Messverfahren für die Klassifizierung sollten hinsichtlich der Oberflächenkenngrößen (zum Beispiel Porosität, Rauheit, elektrostatische Ladung, Oberflächenenergie) angepasst werden. Die Oberflächenreinheit ist neben weiteren Faktoren von den Material und Gestaltungskenngrößen, Beanspruchungslasten (Komplexität der auf eine Oberfläche wirkenden Lasten) und vorherrschenden Umgebungsbedingungen abhängig. Aufgrund der Komplexität der statistischen Bewertungen und der verfügbaren Literatur sind die Auswahl und Anwendung statistischer Klassifizierungs- und Prüfverfahren nicht in diesem Dokument beschrieben.

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN EN 14644-9:2012-12 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) "Klasse" (Klassifizierung, klassifiziert) wurde, wo es angebracht ist, in Grad oder Bewertung geändert; b) ISO 14644-6 wurde aus dem Einleitungstext von Abschnitt 3 und folglich auch aus Abschnitt 2 entfernt; c) Eintrag 3.8 wurde aus Abschnitt 3 entfernt; d) Norm redaktionell überarbeitet.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 243 - Reinraumtechnologie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 209 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche  

Ausgabe 2022-02
Originalsprache Deutsch , Englisch
Preis ab 112,30 €
Inhaltsverzeichnis

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