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DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt ein Prüfverfahren für die Bestimmung der Gesamtstreuung von beschichteten und unbeschichteten optischen Oberflächen fest. Verfahren zur Messung der Beiträge der Vorwärts- und Rückwärtsstreuung zur Gesamtstreuung von optischen Komponenten werden angegeben. Dieses Dokument bezieht sich auf beschichtete und unbeschichtete optische Komponenten mit optischen Oberflächen, die einen Krümmungsradius von mehr als 10 m besitzen. Der Wellenlängenbereich erstreckt sich vom ultravioletten mit über 250 nm bis zum infraroten Spektralbereich unter 15 µm. Für Messungen im Messungen im tiefen Ultraviolett zwischen 190 nm und 250 nm sind spezielle Methoden zu berücksichtigen und diese werden beschrieben. Im Allgemeinen wird die optische Streuung für Wellenlängen über 15 μm als vernachlässigbar angesehen. Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 027-01-18 AA „Laser und elektro-optische Systeme“ im DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik NAFuO. Diese zweite Ausgabe ersetzt die erste Ausgabe DIN EN ISO 13696:2002, die technisch überarbeitet wurde. Gegenüber DIN EN ISO 13696:2002 12 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Der Titel wurde angepasst; b) Anwendungsbereich: der Messbereich wurde ausführlicher beschrieben und auf 250 nm begrenzt. Für Messungen im tiefen Ultraviolettbereich zwischen 190 nm und 250 nm werden spezifische Verfahren in Betracht gezogen, die in diesem Dokument beschrieben sind; c) 3.1.6: zusätzliche Anmerkung 2 für die hohe Volumenstreuung der Probe eingefügt; d) 3.1.6: zusätzliche Anmerkung 3 für eine umfassende Darstellung des Begriffs „totale Streuung“ eingefügt; außerdem wurde die deutsche Übersetzung von „total scattering“ von „Gesamtstreuung“ zu „totale Streuung“ geändert und damit einhergehend auch die Übersetzungen von „Gesamtrückwärtsstreuung“ zu „totale Rückwärtsstreuung“ und „Gesamtvorwärtsstreuung“ zu „totale Vorwärtsstreuung“. Im englischen wird der Begriff „total scattering“ sowohl für die Gesamtstreuung als auch als Oberbegriff für die Streuarten totale Vorwärts- und totale Rückwärtsstreuung verwendet. e) 3.1.7: Anmerkung zum Normal für den diffusen Reflexionsgrad um Wellenlängen unterhalb von 250 nm abwärts bis in den tiefen Ultraviolettbereich erweitert; f) 3.2: neue Symbole für totale Streuung (σTS), Vorwärtsstreuung (τTS), und Rückwärtsstreuung (ρTS), in Tabelle 1; g) Bild 1 und 4.2.5: Lock-in-Verstärker optional. Bei schnellen Datenaufnahmemodulen ist unter Umständen kein Lock-in-Verfahren erforderlich; h) 4.2.2: Kalibrierung des Referenzdetektors nicht erforderlich. Die Leistung auf der Probenoberfläche muss mit einem kalibrierten Detektor gemessen werden; i) 4.2.4: zusätzliche Anmerkung 1 zur Alterung des diffus reflektierenden Materials an den Innenwänden der Kugel eingefügt; j) 4.2.5: zusätzliche Anmerkung zu optionalen Komponenten für ein phasenempfindliches Nachweis-system mit Lock-in-Verstärker eingefügt; k) 5.3: Änderung der Abfolge der Messungen beginnend mit dem Kalibrierungsvorgang der Leistungsmessung und der Bestimmung des Signals der leeren Kugel vor der Messung der Probe; l) 6.1: zusätzliche Anmerkung 3 zu Proben eingefügt, die bei Einzelpunktmessungen größer als das Normal für den diffusen Reflexionsgrad sind; m) 6.1: Anpassung der Gleichung (1), Gleichung (2) und Gleichung (5) bis Gleichung (8) (V "c" ("r" "i" ) im Nenner wurde geändert zu V "c" ); n) 6.1: zusätzliche Anmerkung 6 zu Kalibrierungsproben mit beliebigem diffusen Reflexionsgrad eingefügt; o) Anhang E: zusätzlicher Anhang zu einem alternativen Verfahren für die Kalibrierung von Messungen der totalen Streuung mithilfe einer Calciumfluorid-Streuscheibe; p) Literaturhinweise: ISO 31 6:1992 wurde ersetzt durch die aktuelle Version ISO 80000 7, ISO 11146 wurde ersetzt durch ISO 11146 1 und 11146 2, ISO 11554 und ISO 12005 werden undatiert aufgeführt. Ersetzt wurde auch der frühere Literaturhinweis [5] durch die neueste Ausgabe von SEMI MF1048-0217 [6].

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN EN ISO 13696:2002-12 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) der Titel wurde angepasst; b) Anwendungsbereich: der Messbereich wurde ausführlicher beschrieben und auf 250 nm begrenzt. Für Messungen im tiefen Ultraviolettbereich zwischen 190 nm und 250 nm werden spezifische Verfahren in Betracht gezogen, die in diesem Dokument beschrieben sind; c) 3.1.6: zusätzliche Anmerkung 2 für die hohe Volumenstreuung der Probe eingefügt; d) 3.1.6: zusätzliche Anmerkung 3 für eine umfassende Darstellung des Begriffs „totale Streuung“ eingefügt; außerdem wurde die deutsche Übersetzung von „total scattering“ von „Gesamtstreuung“ zu „totale Streuung“ geändert und damit einhergehend auch die Übersetzungen von „Gesamtrückwärtsstreuung“ zu „totale Rückwärtsstreuung“ und „Gesamtvorwärtsstreuung“ zu „totale Vorwärtsstreuung“. Im englischen wird der Begriff „total scattering“ sowohl für die Gesamtstreuung als auch als Oberbegriff für die Streuarten totale Vorwärts- und totale Rückwärtsstreuung verwendet; e) 3.1.7: Anmerkung zum Normal für den diffusen Reflexionsgrad um Wellenlängen unterhalb von 250 nm abwärts bis in den tiefen Ultraviolettbereich erweitert; f) 3.2: neue Symbole für totale Streuung (σ_TS), Vorwärtsstreuung (τ_TS), und Rückwärtsstreuung (ρ_TS), in Tabelle 1; g) Bild 1 und 4.2.5: Lock-in-Verstärker optional. Bei schnellen Datenaufnahmemodulen ist unter Umständen kein Lock-in-Verfahren erforderlich; h) 4.2.2: Kalibrierung des Referenzdetektors nicht erforderlich. Die Leistung auf der Probenoberfläche muss mit einem kalibrierten Detektor gemessen werden; i) 4.2.4: zusätzliche Anmerkung 1 zur Alterung des diffus reflektierenden Materials an den Innenwänden der Kugel eingefügt; j) 4.2.5: zusätzliche Anmerkung zu optionalen Komponenten für ein phasenempfindliches Nachweissystem mit Lock-in-Verstärker eingefügt; k) 5.3: Änderung der Abfolge der Messungen beginnend mit dem Kalibrierungsvorgang der Leistungsmessung und der Bestimmung des Signals der leeren Kugel vor der Messung der Probe; l) 6.1: Anpassung der Gleichung (1), Gleichung (2) und Gleichung (5) bis Gleichung (8) (V_c(r_i) im Nenner wurde geändert zu V_c); m) Korrektur der Gleichung (C.2); n) Anhang E: Anhang zu einem alternativen Verfahren für die Kalibrierung von Messungen der totalen Streuung mithilfe einer Calciumfluorid-Streuscheibe eingefügt; o) Literaturhinweise: ISO 31 6:1992 wurde ersetzt durch die aktuelle Version ISO 80000 7, ISO 11146 wurde ersetzt durch ISO 11146 1 und 11146 2, ISO 11554 und ISO 12005 werden undatiert aufgeführt. Ersetzt wurde auch der frühere Literaturhinweis [5] durch die neueste Ausgabe von SEMI MF1048-0217 [6].

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 027-01-18 AA - Laser und elektro-optische Systeme  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 123 - Laser und Photonik  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 172/SC 9/WG 1 - Terminologie und Prüfverfahren für elektrooptische Systeme