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DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt ein Prüfverfahren für die Bestimmung der Gesamtstreuung von beschichteten und unbeschichteten optischen Oberflächen fest. Verfahren zur Messung der Beiträge der Vorwärts- und Rückwärtsstreuung zur Gesamtstreuung von optischen Komponenten werden angegeben. Dieses Dokument bezieht sich auf beschichtete und unbeschichtete optische Komponenten mit optischen Oberflächen, die einen Krümmungsradius von mehr als 10 m besitzen. Der Wellenlängenbereich erstreckt sich vom ultravioletten mit über 250 nm bis zum infraroten Spektralbereich unter 15 µm. Für Messungen im tiefen Ultraviolett zwischen 190 nm und 250 nm sind spezielle Methoden zu berücksichtigen und diese werden beschrieben. Im Allgemeinen wird die optische Streuung für Wellenlängen über 15 μm als vernachlässigbar angesehen. Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 027-01-18 AA "Laser und elektro-optische Systeme" im DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO). Diese zweite Ausgabe ersetzt die erste Ausgabe DIN EN ISO 13696:2002, die technisch überarbeitet wurde. Die wesentlichen Änderungen im Vergleich zur Vorgängerausgabe sind folgende: - Anwendungsbereich: Messbereich näher umrissen und auf 250 nm begrenzt. Für Messungen im tiefen Ultraviolett zwischen 190 nm bis 250 nm müssen spezielle Methoden berücksichtigt werden und sind beschrieben. - 3.1.6: zusätzliche Anmerkung 2 eingefügt für hohe Volumenstreuung der Probe; - 3.1.6: zusätzliche Anmerkung 3 zur umfassenden Erläuterung des Begriffs Gesamtstreuung eingefügt; - 3.1.7: Hinweis zur diffusen Reflexionsnorm für Wellenlängen unter 250 nm bis ins tiefe Ultraviolett erweitert; - 3.2: Neue Symbole für Gesamtstreuung (σ_TS), Vorwärtsstreuung (τ_TS) und Rückwärtsstreuung (ρ_TS) in Tabelle 1; - Abbildung 1 und 4.2.5: Lock-in-Verstärker optional. Bei schnellen Datenerfassungsmodulen ist möglicherweise keine Lock-in-Technik erforderlich; - 4.2.2: Eine Kalibrierung des Monitordetektors ist nicht erforderlich. Die Leistung an der Probenoberfläche ist mit einem kalibrierten Detektor zu messen. - 4.2.4: Zusätzliche Anmerkung 1 bezüglich der Alterung des diffus reflektierenden Materials an den Innenwänden der Kugel eingefügt. - 4.2.5: Zusätzliche Anmerkung bezüglich optionaler Komponenten für ein phasenempfindliches Detektionsschema mit Lock-in-Verstärker eingefügt. - 5.3: Änderung des Messablaufs beginnend mit der Kalibrierung der Leistungsmessung und der Bestimmung des Signals der unbelasteten Kugel vor der Messung des Prüflings. - 6.1: zusätzliche Anmerkung 3 eingefügt, die sich auf Proben bezieht, die größer sind als das diffuse Reflexionsnormal für den Fall von Einzelpunktmessungen. - 6.1: Anpassung der Gleichungen (1,2) und (5) an (8) (im Nenner wurde V<(Index>c(r i)> an V_c angepasst) und Gleichung (C2). - 6.1: zusätzliche Anmerkung 6 bezüglich Kalibrierproben mit beliebigem diffusen Reflexionsgrad eingefügt. - Anhang E: zusätzlicher Anhang bezüglich alternativer Methode zur Kalibrierung von Gesamtstreumessungen unter Verwendung einer Kalziumfluorid-Diffusorscheibe eingefügt. - Literaturverzeichnis: ISO 31-6:1992 wurde durch die aktuelle Version ISO 80000-7 ersetzt, gleiches gilt für ISO 11146 mit ISO 11146-1 und -2, ISO 11554 und ISO 12005 werden nicht mehr datiert zitiert. Außerdem wurden die früheren Zitate [5] und [6] durch die aktuelle Ausgabe der SEMI F1048 ersetzt.

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN EN ISO 13696:2002-12 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Anwendungsbereich: der Messbereich wurde ausführlicher beschrieben und auf 250 nm begrenzt. Für Messungen im tiefen Ultraviolettbereich zwischen 190 nm und 250 nm müssen spezifische Verfahren in Betracht gezogen werden, die in diesem Dokument beschrieben sind; b) 3.1.6: zusätzliche Anmerkung 2 für die hohe Volumenstreuung der Probe eingefügt; c) 3.1.6: zusätzliche Anmerkung 3 für eine umfassende Darstellung des Begriffs „Gesamtstreuung“ eingefügt; d) 3.1.7: Anmerkung zum Normal für den diffusen Reflexionsgrad um Wellenlängen unterhalb von 250 nm abwärts bis in den tiefen Ultraviolettbereich erweitert; e) 3.2: neue Symbole für Gesamtstreuung (σ _TS), Vorwärtsstreuung (τ _TS), und Rückwärtsstreuung (ρ _TS), in Tabelle 1; f) Bild 1 und 4.2.5: Lock-in-Verstärker optional. Bei schnellen Datenaufnahmemodulen ist unter Umständen kein Lock-in-Verfahren erforderlich; g) 4.2.2: Kalibrierung des Referenzdetektors nicht erforderlich. Die Leistung auf der Probenoberfläche muss mit einem kalibrierten Detektor gemessen werden; h) 4.2.4: zusätzliche Anmerkung 1 zur Alterung des diffus reflektierenden Materials an den Innenwänden der Kugel eingefügt; i) 4.2.5: zusätzliche Anmerkung zu optionalen Komponenten für ein phasenempfindliches Nachweissystem mit Lock-in-Verstärker eingefügt; j) 5.3: Änderung der Abfolge der Messungen beginnend bei dem Kalibrierungsvorgang der Leistungsmessung und der Bestimmung des Signals der leeren Kugel vor der Messung der Probe; k) 6.1: zusätzliche Anmerkung 3 zu Proben eingefügt, die bei Einzelpunktmessungen größer als das Normal für den diffusen Reflexionsgrad sind; l) 6.1: Anpassung der Gleichung (1), Gleichung (2) und Gleichung (5) bis Gleichung (8) (V _c(r _i) im Nenner wurde geändert zu V _c); m) 6.1: zusätzliche Anmerkung 6 zu Kalibrierungsproben mit beliebigem diffusen Reflexionsgrad eingefügt; n) Anhang E: zusätzlicher Anhang zu einem alternativen Verfahren für die Kalibrierung von Gesamtstreumessungen mithilfe einer Calciumfluorid-Streuscheibe; o) Literaturhinweise: ISO 31-6:1992 wurde ersetzt durch die aktuelle Version ISO 80000-7, ISO 11146 wurde ersetzt durch ISO 11146-1 und 11146-2, ISO 11554 und ISO 12005 werden undatiert aufgeführt. Ersetzt wurden auch die früheren Literaturhinweise [5] und [6] durch die neueste Ausgabe von SEMI F1048.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 027-01-18 AA - Laser und elektro-optische Systeme  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 123 - Laser und Photonik  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 172/SC 9/WG 1 - Terminologie und Prüfverfahren für elektrooptische Systeme