Veröffentlichungen von NA 027-03-03 AA

DIN 32561 2012-10 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Werkstückträger - Anschlussmaße und Toleranzen Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag
DIN 32563 2002-03 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Klassifizierungssystem für Mikrobauteile Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag
DIN 32564-1 2004-05 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag
DIN 32564-2 2004-05 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 2: Basistechnologien und Herstellung Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag
DIN 32564-3 2004-05 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 3: Handhabung, Lagerung und Transport Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag
DIN 32566 2007-12 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag
DIN 32567-1 2015-06 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag
DIN 32567-2 2014-10 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag
DIN 32567-3 2014-10 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag
DIN 32567-4 2015-06 Norm Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prüfkörper für optische Verfahren Mehr  Kaufen beim Beuth Verlag