Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 8: Bewertung der chemischen Luftreinheit (ACC) (ISO 14644-8:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-8:2022
Ausgabe 2022-10

Verfahren zur Prüfung von Luftfiltersystemen mit sehr hohen Wirkungsgraden im eingebauten Zustand (ISO 16170:2016); Deutsche Fassung EN ISO 16170:2016
Ausgabe 2017-05

Schwebstofffilter und Filtermedien zur Abscheidung von Partikeln aus der Luft - Teil 4: Prüfverfahren zur Ermittlung der Leckage des Filterelementes - Scan-Verfahren (ISO 29463-4:2011); Deutsche Fassung EN ISO 29463-4:2018
Ausgabe 2019-05

Schwebstofffilter und Filtermedien zur Abscheidung von Partikeln aus der Luft - Teil 2: Aerosolerzeugung, Messgeräte und Partikelzählstatistik (ISO 29463-2:2011); Deutsche Fassung EN ISO 29463-2:2018
Ausgabe 2019-05

Schwebstofffilter und Filtermedien zur Abscheidung von Partikeln aus der Luft - Teil 3: Prüfung des planen Filtermediums (ISO 29463-3:2011); Deutsche Fassung EN ISO 29463-3:2018
Ausgabe 2019-05

Schwebstofffilter und Filtermedien zur Abscheidung von Partikeln aus der Luft - Teil 5: Prüfverfahren für Filterelemente (ISO 29463-5:2022); Deutsche Fassung EN ISO 29463-5:2022
Ausgabe 2022-10

Ortsbewegliche Gasflaschen - Ventilanschlüsse für die Anwendung in der Mikroelektronik - Teil 1: Seitenanschlüsse (ISO 10692-1:2001); Deutsche Fassung EN ISO 10692-1:2001
Ausgabe 2003-04

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Teilchenanalytik in Flüssigkeiten - Teil 1: Mikroskopische Teilchenbestimmung
Ausgabe 1995-11

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik
Ausgabe 2004-05

VOB Vergabe- und Vertragsordnung für Bauleistungen - Teil C: Allgemeine Technische Vertragsbedingungen für Bauleistungen (ATV) - Raumlufttechnische Anlagen
Ausgabe 2019-09