NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Technische Regel [AKTUELL]

DIN SPEC 1994
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Anionen in schwachen Säuren

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of anions in weak acids

Verfahren

Fachbericht

Einführungsbeitrag

Dieser Fachbericht legt ein Verfahren zur Bestimmung der Anionen Chlorid, Sulfat, Nitrat und Phosphat in Flusssäure, Ammoniumfluorid-Lösung und deren Gemische sowie in Essigsäure im Bereich von 10 ng/g bis 1 000 ng/g fest.
Der Arbeitsbereich ist durch die Kapazität der Anreicherungssäulen und durch die der Trennsäule begrenzt. Eine Probenverdünnung in den Arbeitsbereich kann erforderlich sein.
Nach vorheriger Prüfung kann das Verfahren auch auf die Matrices Ameisensäure, Glycolsäure, und andere schwache Säuren angewendet werden.
Dieser Fachbericht wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie  

Ausgabe 2017-02
Originalsprache Deutsch
Preis ab 45,40 €
Inhaltsverzeichnis

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