DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN SPEC 1994
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Anionen in schwachen Säuren
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of anions in weak acids
Verfahren
Fachbericht
Einführungsbeitrag
Dieser Fachbericht wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie" im DIN-Normenausschuss erarbeitet.
Dieser Fachbericht legt ein Verfahren zur Bestimmung der Anionen Chlorid, Sulfat, Nitrat und Phosphat in Flusssäure, Ammoniumfluorid-Lösung und deren Gemische sowie in Essigsäure im Bereich von 10 ng/g bis 1 000 ng/g fest.
Der Arbeitsbereich ist durch die Kapazität der Anreicherungssäulen und durch die der Trennsäule begrenzt. Eine Probenverdünnung in den Arbeitsbereich kann erforderlich sein.
Nach vorheriger Prüfung kann das Verfahren auch auf die Matrices Ameisensäure, Glycolsäure und andere schwache Säuren angewendet werden.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
